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  • 高精度直驱升降台重复定位精度±100nm ±150nm
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产品名称: 高精度直驱升降台重复定位精度±100nm ±150nm

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规格:

详细价格根据客户提供的参数确定

产品特点:

·高精度直驱升降台

·高动态性能(空载截止频率大于120Hz)

·低侧向高度,适合空间紧凑应用场景

·可内置气动平衡,最大负载15kg

·可直线轴组成多轴系统

·分辨率1nm,重复定位精度±100nm,定位精度±200nm·在位稳定性5nm(配置线性驱动器(需单独购买),带隔振实验室环境需)

 

产品参数:

型号ZZ-05ZZ-10
有效行程5mm10mm
定位精度±200nm±300nm
双向重复定位精度±100nm±150nm
俯仰15 arc sec20 arc sec
偏摆15 arc sec20 arc sec
直线度±1.5μm±2μm
平台重量4.5kg5.5kg
最大负载8kg8kg
分辨率1 nm
在位稳定性5 nm
最小步进量5 nm
最大速度5mm/s
最大加速度0.7g
持续推力23 N
峰值推力170 N
平台材质
平均无故障时间27,000 Hours



产品详情:

产品尺寸:

高精度直驱升降台重复定位精度±100nm ±150nm

高精度直驱升降台重复定位精度±100nm ±150nm


服务:
高精度直驱升降台重复定位精度±100nm ±150nm
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常见问题:
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