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常见问题:
详细价格根据客户提供的参数确定
产品特点:
·高精度直驱升降台
·高动态性能(空载截止频率大于120Hz)
·低侧向高度,适合空间紧凑应用场景
·可内置气动平衡,最大负载15kg
·可直线轴组成多轴系统
·分辨率1nm,重复定位精度±100nm,定位精度±200nm·在位稳定性5nm(配置线性驱动器(需单独购买),带隔振实验室环境需)
产品参数:
| 型号 | ZZ-05 | ZZ-10 |
| 有效行程 | 5mm | 10mm |
| 定位精度 | ±200nm | ±300nm |
| 双向重复定位精度 | ±100nm | ±150nm |
| 俯仰 | 15 arc sec | 20 arc sec |
| 偏摆 | 15 arc sec | 20 arc sec |
| 直线度 | ±1.5μm | ±2μm |
| 平台重量 | 4.5kg | 5.5kg |
| 最大负载 | 8kg | 8kg |
| 分辨率 | 1 nm | |
| 在位稳定性 | 5 nm | |
| 最小步进量 | 5 nm | |
| 最大速度 | 5mm/s | |
| 最大加速度 | 0.7g | |
| 持续推力 | 23 N | |
| 峰值推力 | 170 N | |
| 平台材质 | 铝 | |
| 平均无故障时间 | 27,000 Hours | |
产品尺寸:


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