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产品规格：
| 产品型号 | SDZ-602M | SDZ-603M | SDZ-604M |
| 台面尺寸 | 60mm | 100mm | 125mm |
| 位移方向 | X:6.5mm | X:25mm | X:12.5mm |
| Y:6.5mm | Y:25mm | Y:12.5mm | |
| Z:10mm | Z:13mm | Z：13mm | |
| θx:15° | θx:15° | θx:15° | |
| θy:10° | θy：10° | θy:15° | |
| θz：360° | θz：360° | θz:360° | |
| 驱动方式 | 测微头 | ||
| 驱动位置 | 侧向驱动 | ||
| 刻度 | 10μ/0.5μ | 10μ/0.5μ | 10μ/0.5μ |
| 精度 | 3μ/1.5μ | 3μ/1.5μ | 3μ/1.5μ |
| 调整量 | 2μ/0.1μ | 2μ/0.1μ | 2μ/0.1μ |
| 导轨形式 | 交叉滚柱导轨 | ||
| 承载 | 5kg | 7kg | 9kg |
| 直线度 | 2μ | 2μ | 2μ |
| 偏摆 | 25″ | 25″ | 25″ |
| 俯仰 | 15″ | 15″ | 15″ |
| 台面平行度 | 15μ | 15μ | 15μ |
| 运动平行度 | 7μ | 7μ | 7μ |
| 自重 | 3kg | 5kg | 8kg |
| 材料 | 硬铝 | ||
| 表面处理 | 阳极氧化发黑 | ||
| 配件清单 | PT-R60 1个 | PT-R100 1个 | LD125 1个 |
| PT-SD14-60 1个 | PT-SD14-100 1个 | PT-R125 1个 | |
| PT-XY60-R 1个 | PT-XY100-R 1个 | PT-SD14-125 1个 | |
| PT-SD308 2个 | PT-SD310 2个 | PT-SD3144 2个 | |
产品尺寸图：
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