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产品参数：
| 按要求定制 | ||
| 型号 | PT-NMXYZ30 | |
| 运动自由度 | X、Y、Z | |
| 驱动控制 | 1路驱动，1路传感 | |
| X,Y方向行程 | 大于40μm | |
| Z轴行程 | 40μm | |
| X轴精度 | 高于500nm | |
| Y,Z方向精度 | 高于1000nm | |
| 标称行程范围(0~120V） | 80μm±10% | |
| Max.行程范围(0~150V) | 100μm±10% | |
| 传感器类型 | SGS/－ | |
| 闭/开环分辨率 | 3/0.1nm | |
| 闭环线性度 | 0.05/－%F.S. | |
| 闭环重复定位精度 | 0.02/-%F.S. | |
| 俯仰/偏航/滚动 | <10μrad | |
| 推/拉力 | 30/10N | |
| 运动方向刚度 | 0.3N/μm±20% | |
| 空载谐振频率 | 0.3kHz±20% | |
| 闭/开环空载阶跃时间 | 10/0.8ms±20% | |
| 闭环工作频率（-3dB） | 70（负载100g）Hz±20% | |
| 承载能力 | 水平安装 | 0.8kg |
| 立式安装 | 0.05kg | |
| 倒置安装 | 0.8kg | |
| 静电容量 | 1.8μF±20% | |
| 材质 | 钢、铝 | |
| 重量 | 100g±5% | |
产品尺寸：
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