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产品描述：
NM-030紧凑型线性纳米定位台采用平行运动学机械设计结构，其位移沿Z方向可提供30μm行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。
Z轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台。
NM-030位移台可以轻松地与XY和压电偏转旋转系统结合使用，以提供所有自由度的定位。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。
NM-030非常适用于小部件例如反射镜和激光二极管）的纳米级精确定位，特别是在需要长期稳定性的应用中。
产品参数：
| 型号 | NM-030 | NM-030S | 公差 |
| 运动轴 | Z | Z | —— |
| 集成传感器 | —— | SGS | —— |
| 标称行程范围(@0~+120V) | 30μm | 30μm | ±5% |
| 最大行程范围(@-20~+150V) | 38μm | 38μm | ±20% |
| 分辨率 | 0.3nm | 0.6nm | typ. |
| 最小移动步长 | 1.0nm | 1.0 nm | typ. |
| 线性误差 | —— | 0.02%~0.05% | typ. |
| 重复定位精度(全行程) | —— | 0.05% | typ. |
| 角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转) | 5μrad | 5μrad | typ. |
| 承载能力 | 8N | 8N | Max. |
| 谐振频率(0g) | 350Hz | 350 Hz | ±20% |
| 运动方向刚度 | 0.5N/μm | 0.5N/μm | ±20% |
| 运动方向推力/拉力 | 30N/10N | 30N /10N | ±20% |
| 驱动机构 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | —— |
| 工作温度范围 | -20~+80℃ | -20~+80 °℃ | typ. |
| 线缆长度 | 1.5m | 1.5 m | ±10mm |
| 中空尺寸 | —— | —— | —— |
| 外形尺寸(长×宽×高) | 27×27×20mm | 27×27×20mm | —— |
| 重量 | 40g | 40g | ±5% |
| PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | —— |
| 本体材质 | 钢、铝 | 钢、铝 | —— |
注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。
1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“-S，无线性误差、重复度数据。
2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0...+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用 RMS（1σ）值进行测量和指定。
4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的 DAC 分辨率决定。最佳情况下，参数表中为 16-Bit 对应的位移步长值。
5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6.更长的线缆长度请咨询。
7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8.公差中 Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值
产品尺寸：
注意事项:
我们很高兴你能和我们合作。为了节省你的时间，在选择产品时，请查看参数或与我们的销售沟通，避免你购买的产品，因参数与你的使用要求不一致，耽误你的工期进度。我们再次感谢你的支持。
