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产品描述：
NM-005为Z向直驱压电平移台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
底部平台固定安装孔可选择M3螺纹孔，便于用户方便安装，订购时需要指出。默认版本的平台固定孔为直径2.2 通孔。
形行程范围为5μm（闭环）。
NM-010为Z向直驱压电平移台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
压电位移台可提供SGS传感器反馈或无反馈（开环）。
对于需要紧凑的尺寸，高动态性和亚纳米级的定位分辨率，但又不需要绝对的定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计版本。
产品参数：
| 型号 | NM-005 | NM-005S | NM-010 | NM-010S | 公差 |
| 运动轴 | Z | Z | Z | Z | —— |
| 集成传感器 | —— | SGS | —— | SGS | —— |
| 标称行程范围(@0~+120V) | 5μm | 5 μm | 10μm | 10μm | ±5% |
| 最大行程范围(@-20~+150V) | 7μm | 7μm | 12μm | 12μm | ±20% |
| 分辨率 | 0.05nm | 0.1nm | 0.1nm | 0.2nm | typ. |
| 最小移动步长 | 3.0nm | 3.0 nm | 0.4nm | 0.4 nm | typ. |
| 线性误差 | —— | 0.2% | —— | 0.2% | typ. |
| 重复定位精度(全行程) | —— | 0.1% | —— | 0.2% | typ. |
| 角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转) | 5μrad | 5μrad | 5μrad | 5μrad | typ. |
| 承载能力 | 8N | 8N | 8N | 8N | Max. |
| 谐振频率(0g) | 2500Hz | 2500 Hz | 2300Hz | 2300 Hz | ±20% |
| 运动方向刚度 | 2N/μm | 2 N/μm | 2N/μm | 2 N/μm | ±20% |
| 运动方向推力/拉力 | 12N/2N | 12N /2N | 12N/2N | 12N /2N | ±20% |
| 驱动机构 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | —— |
| 工作温度范围 | -20~+80℃ | -20~+80 °℃ | -20~+80℃ | -20~+80 °℃ | typ. |
| 线缆长度 | 1.5m | 1.5 m | 1.5m | 1.5 m | ±10mm |
| 中空尺寸 | —— | —— | —— | —— | —— |
| 外形尺寸(长×宽×高) | 30×30×24mm | 30×30×24mm | 30×30×29.2mm | 30×30×29.2mm | —— |
| 重量 | 70g | 70g | 80g | 80g | ±5% |
| PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | LEMO | LEMO | —— |
| 本体材质 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | —— |
注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。
1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带"-S，无线性误差、重复度数据。
2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0.+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS（1σ）值进行测量和指定。
4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下，参数表中为16-Bit对应的位移步长值。
5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6.更长的线缆长度请咨询。
7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。
产品尺寸:
注意事项:
我们很高兴你能和我们合作。为了节省你的时间，在选择产品时，请查看参数或与我们的销售沟通，避免你购买的产品，因参数与你的使用要求不一致，耽误你的工期进度。我们再次感谢你的支持。
