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产品描述：
NM-300紧凑型线性纳米定位台，沿X方向可提供100μm或更大行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。Z轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台。
该纳米位移台采用高可靠多层低压压电叠堆陶瓷作为驱动元件，利用有限元优化的集成态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦柔性机构，压电位移台无需维护，无磨损，并具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于定位控制，例如步进或连续扫描。压电陶瓷促动器为树脂绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。其使用寿命被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。
产品参数：
| 型号 | NM-300 | NM-300S | 公差 |
| 运动轴 | Z | Z | —— |
| 集成传感器 | —— | SGS | —— |
| 标称行程范围(@0~+120V) | 300μm | 300μm | ±10% |
| 最大行程范围(@-20~+150V) | 350μm | 350μm | ±20% |
| 分辨率 | 3.0nm | 6.0nm | typ. |
| 最小移动步长 | 10nm | 10 nm | typ. |
| 线性误差 | —— | 0.2% | typ. |
| 重复定位精度(全行程) | —— | 0.1% | typ. |
| 角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转) | 50μrad | 50μrad | typ. |
| 承载能力 | 10N | 10N | Max. |
| 谐振频率(0g) | 360Hz | 360 Hz | ±20% |
| 运动方向刚度 | 0.25N/μm | 0.25N/μm | ±20% |
| 运动方向推力/拉力 | 10N/8N | 10N /8N | ±20% |
| 驱动机构 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | —— |
| 工作温度范围 | -20~+80℃ | -20~+80 °℃ | typ. |
| 线缆长度 | 1.5m | 1.5 m | ±10mm |
| 中空尺寸 | —— | —— | —— |
| 外形尺寸(长×宽×高) | 50×50×17.5mm | 50×50×17.5mm | —— |
| 重量 | 250g | 250g | ±5% |
| PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | —— |
| 本体材质 | 钢、铝 | 钢、铝 | —— |
注：所有规格参数基于室温（22°C±3°C）测得，欲了解更多信息，请与我们联系。表中“-”表示为不适用。
1.尾缀“-S”为闭环，内置位置传感器。开环尾缀不带“S，无线性误差、重复度数据。
2.最大驱动电压为-20V~+150V，对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0.+120V，更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS（1σ）值进行测量和指定。
4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值，它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下，参数表中为16-Bit对应的位移步长值。
5.轴向载荷，更高的负载请咨询，注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6.更长的线缆长度请咨询。
7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示标准典型数据值，检测报告中会给出实际的测量数据值。
产品尺寸：
注意事项:
我们很高兴你能和我们合作。为了节省你的时间，在选择产品时，请查看参数或与我们的销售沟通，避免你购买的产品，因参数与你的使用要求不一致，耽误你的工期进度。我们再次感谢你的支持。
