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  • 行程±10mm XYZ三轴大行程压电位移台 惯性压电平台压电纳米平台
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产品名称: 行程±10mm XYZ三轴大行程压电位移台 惯性压电平台压电纳米平台

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规格:

产品特点:

■闭环最小步距可达3nm

■行程20mm,支持定制

■支持二维、三维组合扩展,多轴协同

■保持力可达3N,具有高稳定性

产品参数:

型号PT-NML120
行程±10mm
尺寸50×50×16.5mm可定制
驱动力2N
保持力3N
最大空载速度3mm/s
传感器类型光栅传感器
传感器分辨率1、5、10nm可选
俯仰/偏摆<200urad
单/双向重复精度±50nm/±120nm
最小位移3nm
最大法相负载2kg
最大轴向负载200g
电气接口D-sub15
真空(可选)高真空兼容



产品详情:

产品尺寸:

行程±10mm XYZ三轴大行程压电位移台 惯性压电平台压电纳米平台

服务:
行程±10mm XYZ三轴大行程压电位移台 惯性压电平台压电纳米平台
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