产品名称: 行程±20mm 大行程压电位移台 惯性压电平台 压电纳米平台
规格: 产品特点:
■闭环最小步距可达3nm
■行程40mm,支持定制
■保持力可达3.5N,具有高稳定性
■支持二维、三维组合扩展,多轴协同
产品参数:
| 型号 | PT-NML40 |
| 行程 | ±20mm |
| 尺寸 | 90×60×16mm |
| 驱动力 | 3N |
| 保持力 | 3.5N |
| 最大空载速度 | 3mm/s |
| 传感器类型 | 光栅传感器 |
| 传感器分辨率 | 1、5、10nm可选 |
| 俯仰/偏摆 | <200urad |
| 单/双向重复精度 | ±50nm/±120nm |
| 最小位移 | 3nm |
| 最大法相负载 | 3kg |
| 最大轴向负载 | 0.3kg |
| 电气接口 | D-sub15 |
| 真空(可选) | 高真空兼容 |
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