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产品描述：
NM-200紧凑型线性纳米定位台，沿Z方向可提供200μm行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。Z轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台，由于固态弯曲和平行结构，这些压电平台可以在X和Z方向上移动而没有任何机械间隙。它们可提供比机械或机电系统更高的分辨率。
NM-200系列位移台可以轻松地与XY和压电偏转旋转系统结合使用，以提供所有自由度的定位。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。
NM-200非常适用于小部件例如反射镜和激光二极管）的纳米级精确定位，特别是在需要长期稳定性的应用中。
产品参数：
| 型号 | NM-200 | NM-200S | 公差 |
| 运动轴 | Z | Z | —— |
| 集成传感器 | —— | SGS | —— |
| 标称行程范围(@0~+120V) | 200μm | 200μm | ±10% |
| 最大行程范围(@-20~+150V) | 240μm | 240μm | ±20% |
| 分辨率 | 1.8nm | 3.6nm | typ. |
| 最小移动步长 | 7.0nm | 7.0nm | typ. |
| 线性误差 | —— | 0.02%~0.05% | typ. |
| 重复定位精度(全行程) | —— | 0.05% | typ. |
| 角摆偏差(俯仰/偏摆/滚转) | 10μrad | 10μrad | typ. |
| 承载能力 | 5N | 5N | Max. |
| 谐振频率(0g) | 420Hz | 420 Hz | ±20% |
| 运动方向刚度 | 0.5N/μm | 0.5N/μm | ±20% |
| 运动方向推力/拉力 | 30N/10N | 30N /10N | ±20% |
| 驱动机构 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | —— |
| 工作温度范围 | -20~+80℃ | -20~+80 °℃ | typ. |
| 线缆长度 | 1.5m | 1.5 m | ±10mm |
| 中空尺寸 | —— | —— | —— |
| 外形尺寸(长×宽×高) | 54×54×25mm | 54×54×25mm | —— |
| 重量 | 95g | 95g | ±5% |
| PZT&Sensor连接器 | LEMO | LEMO | —— |
| 本体材质 | 钢、铝 | 钢、铝 | —— |
产品尺寸：
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